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高频超声波清洗作用
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当超声波的频率增加到几百千赫的高频时，波长相比短了，入=0.7~1.5mm，声场中质点的稠密区与稀疏区界线模糊，液态声场中空化现象几乎消失，超声能量表现为媒质质点加速度能量。例如在硅晶片及光刻清洗中，使用950kHz超声波，两个波峰之间的时间仅为1.05us,不足以形成空化泡，但能量将达到重力加速度的10倍，兆级超声波清洗体现在液态质点对工件表面每秒95万次的精细擦洗上。
这足以使清洗液迅速扩散到基片(工件)与粒子(污物)之间，使工件表面水化，变得湿润。液膜作用如同尖劈，使粒子从基片脱落，同时液膜也进一步防止了粒子对基片的二次吸附，这对去除亚微米粒子效果更有利。
高频超声波清洗机因其高频率的声波产生的空化效应，加速度作用清洗特点，提供了高效、环保的清洗解决方案，适用于各种对清洗精度有高要求的行业。
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